既然猜到了曲慧极有可能是在双工件台技术上取得了突破，苏远山接下来可就真有点坐不住了。
但他太了解曲慧了。
这姐妹儿，干练豪爽不说，还古灵精怪既然打定主意要给自己兜圈子，那自己怎么问都是没个结果的。
好在一小时并不长，当他打开一篇最新的石墨烯领域的paper后，时间便迅速流逝起来。
嗯，主要是他现在难得遇到一篇不灌水的石墨烯论文。
一小时后，曲慧与郑振川如约而至。
“郑叔，慧姐，好久不见。”苏远山早已在客座沙发旁等着，就连茶都已经准备好了。
“嗯，是有不少时间了。”曲慧出乎意料地留了头发，还梳了个马尾，脖子上围着丝巾。她笑呵呵地坐到苏远山对面。
“这下可以说了吧，到底是什么惊喜别让我猜啊。”
“其实就是工件台成了。”曲慧一副云淡风轻的表情，端起茶杯吹了口气后笑眯眯地道：“你猜到了是吧”
“你和郑叔一起过来，不是光刻机的事还能是啥”苏远山一摊手，笑道：“让我干等了一个小时，再惊的喜也给整没了。”
“害我就应该给周小慧偷偷打个电话问一下的对了，周小慧呢”
“不知道，估计是在天驹那边吧。今天德仪那边刚好有人过来，她去接待一下。”苏远山顿了顿，望向郑振川：“郑叔，别告诉我，你们已经将工件台用在光刻机上了。”
“哈哈，当然没有。”
郑振川放下茶杯，冲苏远山乐道：“你先听小曲的，等会我再说。”
“嗯”苏远山听到郑振川这语气，顿时心中多了几分“警惕”起来。
这老爷子，语气听起来不对呐
感情这次不是单纯的“报喜”，似乎还有套等着自己。
不过他依旧不动声色，整个人放松了姿势：“曲慧姐，你说，工件台到底怎么样了。”
“成了，但有点麻烦。”曲慧知道苏远山对光刻机倾注的心血不比晶圆厂少，此刻也不开玩笑，正色了起来：“你知道的，制约国产光刻机精度的最大敌人就是精度。”
苏远山点头：“嗯，不用你说，我就算再不懂机械也知道。”
“精度的最大问题又会最终落在电机控制，材料，加工精度上。”曲慧抿着嘴，慢慢道。
“双工件台的构想是根据华罗庚先生的统筹方法思想而来，原理就是把在曝光过程中处于等待状态下的流程先走一步。实现一个工件台曝光，一边进行测量对准等工作。等到曝光完毕，就可以不用再测量对准，从而直接就可以移动平台，然后曝光。”
“根据我们的估计，在目前的工艺水平下，采用双工件台除了可以提高30以上的效率之外，还可以略微提高精度别的不说，10起码有的。”
苏远山再次点头：“然后呢”
“我们这次取得的突破，是在运动定位模块和流程控制系统上。”
苏远山听得眉毛一扬
他哪怕对双工件台的设计和原理再不懂，他也知道，实现双工件台最困难的地方便是运动定位系统，是真正的“牵一发动全身”“差之毫厘，谬之千里”。
而且苏远山还知道，as的初代双工件台，其实效率并不十分高，只能说略有提升就是因为控制系统不成熟。不然也不会直到浸没式光刻机出来之后才正式宣判尼康和佳能死刑。
双工件台技术真正的成熟，还必须等到磁悬浮技术诞生。只有那样，才能把误差缩短到极限。
但一切的前提还是控制系统。
那么既然都已经取得突破了，还有什么麻烦
“那麻烦在哪”
“麻烦在于，我们目前只能实现05微米的精度。”曲慧紧缩着眉，凝望着苏远山道：“而且，精度越高，摩擦系数和阻尼作用就越强。我有点担心，它在未来能不能追上光刻机的步伐。”
“我给你坦白吧，目前首精上下普遍都很振奋我虽然也高兴，也知道不能泼冷水。但如果工件台无法用在最先进的光刻机上，那它的意义就少了许多。”
“还有一点，我们目前的工业基础，只能允许我们做到这个极限。”
苏远山沉默地听着曲慧的介绍，终于明白了她的忧虑在哪。
几秒后，苏远山微笑着摇头：“曲慧姐，其实你们已经很厉害了。”
他这句话不是安慰人，而是真心这样认为。
虽然他很少直接去首都精科那边，但各种支持从来都是不遗余力的。要什么协助给什么协助，就算要机床，他也在前年的时候费尽周折地搞了一台。
所以，双工件台名义上是首都精科一个企业搞的技术，但实际上，却是一个由原首都精密仪器研究所，远芯，志远，清华这四方巨头联合进行的一次技术攻关。
从阵容上，这个团队就已经堪称豪华了。
要知道，搞机械，特别是精密机械，它不比搞程序设计。
程序设计可以叫嚣“只有想不到，没有做不到”，但机械设计还真是，你能想到，但基本上办不到。
双工件台的构思说白了，就如曲慧所说的那样，源自华罗庚老先生的统筹方法就是在等待烧开水的过程中就把茶杯洗干净，茶叶拿出来丢进杯子里，顺便还拧着暖水壶在一旁等着，只要水开，马上就能泡茶，装水，一气呵成。比等水开了再去找茶叶洗茶杯要节约很多时间。
但真要实现起来却不简单，毕竟这是两个工件台的协同配合，而且要保持高速运动下的05微米的运动精度其难度相当于在两架并肩飞行的飞机上，其中一架飞机伸出一根杆子，在对面的机身上刻05微米大小的字。
至于为什么曲慧会在取得如此的成果后依旧保持冷静乃至忧虑苏远山完全能够理解。
因为曲慧刚出校门就进入了远芯，亲自参加了eda的诞生，又亲眼见证了远芯在各个领域的崛起。
说白了，就是曲慧所参与，所看到的，全是世界顶级的技术成果。
双工件台虽然出来了，却无法给国产光刻机带来本质上的技术飞跃。
她不甘心。
“这样，曲慧姐，我给你指一条方向。”苏远山不知道双工件台技术接下来要具体往哪一边走，但苏远山却知道双工件台的未来在何方。
“嗯你说什么方向。”
“目前工件台的最大难点还是在于高速运动下所导致的一系列麻烦，所以如果要把目光瞄准到十年，二十年之后，瞄准到纳米级精度的话，我认为，只有一条路，就是磁悬浮。”
“磁悬浮”曲慧闻言一怔，直愣愣地望着苏远山。
郑振川也惊讶起来：“小山，磁悬浮能用在工件台上”
“不是磁悬浮能用在工件台上，而是工件台要摆脱摩擦和阻尼的桎梏，实现超精密运动控制，在现有的自然科学和机械空城的框架下，就只有磁悬浮这一条路。”
曲慧沉默数秒后慢慢点头，喃喃道：“是了，磁悬浮技术可以最大作用地发挥我们的运动控制模块的优势，避开短板。”
“可是，那个难度怕是有点大吧现在有没有超精密的磁悬浮运动控制案例和方案”郑振川则想了想，迟疑地问道。
“不知道，但管他呢”曲慧吸了口气，整个人瞬间振奋了起来，望向苏远山道：“小山，你真觉得那是个方向”
“我能想到的唯一方向。”苏远山郑重点头。
有了新方向的曲慧再无心交谈，转而去苏远山的书架翻了一本物理书来看。
见曲慧这模样，苏远山也在心里暗暗发笑曲慧别看已经三十岁了，可长期以来身处科研一线，身份身家都无与伦比，以至于心态还是小姑娘心态。
“郑叔，怎么说”苏远山起身给郑振川斟满茶水，笑呵呵地问道：“你别告诉，你是来推销光刻机的。”
“嗯，还真是。”郑振川从刚才苏远山口中的磁悬浮工件台的设想中回过神来，笑着道：“我们拿到了蔡司的镜头和cyr的krf光源，接下来就能量产最低0微米工艺节点的光刻机了。”
“我靠”
苏远山眼珠子一瞪，差点没从沙发上弹起来：“怎么拿到的”
“呵呵，别激动。”郑振川好整以暇地抿了一口茶：“怎么样，要不要来两台”
“等等”苏远山马上便清醒过来：“别拿空头支票来忽悠我，先说清楚，什么时候可以可以出厂。”
“最多半年。”
听到这个半年，苏远山又默默地算了一下自家光源的时间，这才慢慢平静下来，笑着骂了一句：“nnd，帝国主义亡我之心不死。”
“是啊但这样好歹能把咱们的光刻机与尼康佳能的距离缩到只有一代了，对吧”
“嗯，这倒是。”
苏远山含笑望着郑振川，突然越看越觉得这老头有点像“买办”了。
很显然，在这个时候，蔡司和cyr突然对国产光刻机放行，除了有霓国同行的竞争之外，还有就是有把国内的光源和镜头技术“扼杀”在摇篮的想法。
要知道，他们给的光源和镜头，可不是最先进的
cyr都已经搞出193的arf了，正在想搞euv或者f2呢。
“不过郑叔，我们已经预定了尼康最先进的duv光刻机，他们的节点可是能够到65纳米。”苏远山一耸肩，呵呵笑道：“差不多半年。”
“”郑振川便带着一脸哀怨地看着苏远山：“当初你说好要支持的呢”
“我当然一直都是支持的，但这事儿我做不了主啊郑叔。你不应该找我，而是应该去找德远的张博士。”
说着苏远山便疑惑起来：“不对，郑叔无锡那么多晶圆厂，为什么你不去找他们”
远芯在光刻机，晶圆厂的战略方向一直很明确，就是以保持制程和工艺的领先换言之就是设备上不能落后。
光刻机自然要支持，甚至还要大力支持。但钱可以出，在有选择的情况下，买一堆落后的产品，这事儿却是不能干的。
国家也认同远芯的发展，因此从来把希望寄托在远芯身上，继而让华晶，华鑫，首晶等新老国有控股的晶圆厂大力采购国产光刻机，用以扶持。
所以郑振川找苏远山，是没找对门。
“因为每个企业都有追求。”这时曲慧抬起头，悠悠地来了一句。
苏远山便望向郑振川，只见后者的表情已经变得苦涩了起来。
郑振川沉默几秒后，发出了一声轻叹：“国外同行在今年开了不少口子，国内的晶圆厂，只要有钱，基本上都能买到krf的光刻机”
“现在国家上上下下都在讲市场化，就算上面再支持我们，也不可能说强制下行政命令让企业只买我们的光刻机吧”
“而且我们的光刻机确实，我承认，稳定性比起国外同行差了一点。但我们起步晚，这是很正常的，总要给我们一点时间进步和完善，对吧”
“现在倒好，随着国外解禁，国内企业又开始有钱了再加上国家一直在推动无锡那边的产业升级，成立了以华晶为首的半导体联盟。旨在提高整个国内半导体行业的元器件自产率和制程升级所以，我们在目前落后两代的情况下，确实有点难搞。”
“现在无锡那边，已经有人在诋毁说咱们的光刻机这不行，那不行还不如多花点钱买as和尼康佳能。”
“在那些人眼里，晶圆厂就是印钞厂，光刻机就是印钞机，就算再贵，只要够先进，能稳定运行，那印到后面就是印的钞票。”
静静地听郑振川说完，苏远山意识到，历史的走向已经完全改变了。
但有一样还是没变。
造不如买的思想没变。
事实上，造不如买不仅仅是一种思想，而是一个持续在整个工业化进程中的现象。
原因很简单，机械设备领域，确实不如别人。
工欲善其事，必先利其器。
哪怕它再贵，稳定性和效率依旧压倒一切。